微電子、集成電路工業(yè)超純水的應(yīng)用
來(lái)源：上海純水設(shè)備??????2024/5/6 9:52:32??????點(diǎn)擊：
【上海純水設(shè)備】微電子、集成電路工業(yè)超純水的應(yīng)用
半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、、微電子等工業(yè)需用大量的超純水清洗半成品、成品。電子級(jí)水質(zhì)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm。
電子工業(yè)超純水處理設(shè)備通常采用兩級(jí)反滲透主機(jī)加EDI模塊，其基本工藝流程為：
原水→石英砂過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水裝置→保安過(guò)濾器→一級(jí)高壓泵→一級(jí)反滲透→純水箱→二級(jí)高壓泵→二級(jí)反滲透→純水箱→增壓泵→EDI→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)上海反滲透純水設(shè)備 上海EDI超純水處理設(shè)備 上海工業(yè)純水設(shè)備 上海純化水設(shè)備 上海實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備
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